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广州工控攻关电子气体关键技术取得重大突破

2021/4/30 10:52:570次浏览

高纯氮气是电子行业不可缺少的基础性原材料,可用于超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程。高端电子行业中的氮气纯度必须保持约99.999999%,才符合电子行业的生产

高纯氮气是电子行业不可缺少的基础性原材料,可用于超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程。高端电子行业中的氮气纯度必须保持约99.999999%,才符合电子行业的生产标准。

作为国内第一家具有超高纯电子大宗气体供应服务能力的本土气体企业,2018年,广钢气体打破外资垄断,成功中标安徽滁州惠科超高纯气体项目;2020年,在电子气体业务板块再开新局,拿下总投资达320亿元的长沙惠科超高纯大宗气站供应项目。


在安徽滁州电子级超高纯大宗气站项目实施过程中,广钢气体成功研发了国内首套具有自主知识产权技术的超高纯气体制取系统——广钢气体Super-N系列超高纯制氮系统,创造了国内超高纯后备系统供气用时最短记录。

该系统在2019年成功试车投产,并于2021年初获得国家颁发的发明专利证书。经优化设计后,在长沙惠科超高纯气体供应项目再次投入实践,填补了国内制氮装置出冷箱杂质1ppb的空白,可满足目前最严格的芯片项目对制氮装置出冷箱产品的纯度要求,为进一步实现“广钢气制造中国芯”目标提供了硬件保障。

广钢气体Super-N系列超高纯制氮系统在长沙惠科超高纯气体供应项目的成功商业化实践,是企业助力攻关电子气体关键技术所取得的重大突破。

下一步,广钢气体将充分整合广州工控资源条件,打造差异化竞争优势,进一步推进我国电子气体国产化进程,集中力量赋能打造“中国芯”。

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