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氩气与氯气电浆有什么不同之处?

2021/4/8 10:57:200次浏览

什么是电浆?等离子体(plasma)又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质,尺度大于德拜长度的宏观电中性电离气体,其运动主要受电磁力支配,

什么是电浆?等离子体(plasma)又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质,尺度大于德拜长度的宏观电中性电离气体,其运动主要受电磁力支配,并表现出显著的集体行为。它广泛存在于宇宙中,常被视为是除去固、液、气外,物质存在的第四态。那么氩气电浆和氯气电浆有什么区别呢?下面一起来看看吧。


一、氩气电浆

利用氩气微型电浆系统分解气态二甲基硫,将其转化为其它物质,再借由水洗塔或别的方式来减少二甲基硫的大气排放量,以达到保护环境的作用。在实验过程中研究人员以光学放射光谱仪及各式气体分析仪检测氩气电浆、反应及生成气体。研究发现经过分解,二甲基硫会分解为C*、C2*、CN*、CO*和CH*等激发物种。激发态物种离开处理系统后会再度结合,形成其他稳定的化合物或物种,而以固态颗粒和气态相两种形式存在。在气态相方面,分子量小的物种具活性,可能再结合成具较高热力学稳定性物种,如:H2S、CS2、CO和H2等气体物种。并且随着处理时间的延长,S2及H2的浓度则因为H2S的分解而增加。在分解产物方面,我们可以利用NaOH溶液将H2S从气态产物中分离,再利用活性碳将CS2收集,排出的氢气可做为能源的再生利用。

二、氯气电浆

相同压力下,随著输入功率的上升氯分子浓度会下降,氯原子及氯离子浓度会上升,由于输入功率越高,电子密度越高,氯分子解离率与游离率也越高。相同功率下,随著压力的上升氯分子及氯原子浓度会上升,氯离子浓度会下降,因为压力上升粒子的平均自由路径会缩短,导致电子温度的下降,而且负电性气体Cl2容易与电子发生碰撞产生负离子(Cl-)会消耗电子,使得电子密度下降,使得氯分子游离率降低。相同压力与输入功率下,越靠近腔体中心氯分子浓度越低,氯离子浓度越高,因为越靠近腔体中心电子密度与电子温度越高,氯分子游离率越高。当蚀刻制程中偏压功率开启时,氯原子及氯离子浓度会瞬间下降,氯分子浓度会上升,且随著越靠近晶圆表面处氯原子与氯离子浓度越低,越往腔壁处浓度越高,因为氯原子会与晶圆表面的硅产生化学反应产生SiClx,氯离子会溅击以及离子驱策蚀刻晶圆表面,导致氯原子及氯离子的消耗,使得浓度下降,当偏压关闭时,氯原子及氯离子浓度则会瞬间上升,氯分子浓度则会下降,另外由于氯离子Cl2+与Cl-会于靠近腔体表面处产生再结合的效应,所以蚀刻过后越靠近腔壁处氯分子与原子浓度会变的较高。

以上就是对氩气和氯气电浆相关事项的介绍。氩气与氯气,一个有毒,一个无毒,形成电浆的过程不同,作为电浆的应用也截然不同。

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